主动隔振台是桌面式三维隔振台,提供三维六自由度隔震,同时连续监测装载台的振动,适合原子力显微镜,激光共聚焦显微镜,光学形貌仪轮廓仪,百万分之一天平等超精密仪器隔振。
主动隔振台特色
六自由度主动隔振
该系统可以在三维（六个自由度）控制振动，同时连续监测装载台的振动。这是通过使用集成致动器来向测量的振动提供反相信号来实现的。
自动主动控制和调平
我们zui初开发的控制系统you化了增益控制，这是主动隔振的重要组成部分。
即使用于小重量应用
在回顾组装部件的结构时，我们成功地开发了该系列，即使是小重量的应用，如小型SPM，也可以使用，而不会降低隔振性能。
主动隔振台规格参数
| 型号 | ME-0405 | ME-0506 |
|---|---|---|
| 样式结构 | 桌面型 | |
| 主动控制范围 | 0.5Hz～100Hz（passive congrol for 100Hz or higher） | |
| 自动控制 | 主动减振和水平调整 | |
| 状态 | 显示在前部LCD显示屏上 | |
| 负载重量[kg]※1 | 80 | 80 |
| 桌面尺寸 [mm] | 430×530 | 530×630 |
| 整体尺寸[mm]※2 | 432×532×93 | 532×632×93 |
| 高度 [kg] | 31 | 42 |
| 供电要求 | Power supply（100V-240Volts, AC slingle-phase, 50/60Hz） | |
| 可选配置 | 加载桌面: 不锈钢蜂窝状面包板 | |
