微波等离子体源是具有着高度灵活性微波
等离子体发生器,可有效应用在各种精密复杂的科研实验中.
微波等离子体源创造性地使用分子气体混合物补充的纯氩气,氦气,确保了将化学工艺与具体应用的要求相匹配。
微波等离子体源特点
对于表面净化、超细清洗和表面活化以及实时样品制备的形态分析方法这些多样化应用，
广泛的操作范围内的气体流量和微波功率，以及固有的高等离子体温度是必不可少的先决条件。
具有上述性能，成为了工业和研究领域里生产和分析应用的强大工具。
等离子体作为一种高新技术，广泛用于科学研究和工业应用，是表面处理中不可或缺的工具。等离子技术运用广泛，主要用于那些质量，生产力，环境的可持续性，精密度和灵活性很重要的应用。
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微波等离子体源MiniMIP特征
紧凑和移动型
灵活性高
微波等离子体源应用广泛
激活
精洗
净化
形态分析（如有机汞，铅，锡化合物）
化学反应器
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处理
技术和生物材料
复杂的几何形状
很难接近的位置
精确和逐点操作
惰性和分子气体提供能源
多功能加工一体化
微波等离子体源产品概述
用于表面处理的紧凑型常压等离子体源装置
手持装置尺寸 80x 65X 50mm（1.50米电缆接头）
手持装置重量 0.5kg
基本单元尺寸 110x 230x 375mm （高x宽x深）
基本单元重量 6.5公斤
电源 110-230VAC, 50/60 Hz
功耗＜<200W 在230 V, 50 Hz
运输和储存条件
温度 - 40°C - 70°C
相对湿度 10% - 100%
工作条件
温度15°C - 40°C
相对湿度 15% - 75%
气压 800 hPa -1060 hPa
资源
工艺气体
氩
* *根据要求，提供其他气体和混合物
微波频率 2.45GHz
正向功率 10 W至60 W（可选）
气体流量 0.6- 6升/分钟
等离子量 约10mm³
电子密度 高达2 x1021m-3
气体温度 高达1700°C
*取决于工艺气体和功率
交付内容
等离子体源装置
微波发生器
微波连接器电缆
线
高功率等离子体处理机
