自动水滴角测量仪是为半导体晶圆水滴性能测试设计的全自动表面
水滴角测试仪器,特别适合晶圆涂层和光刻工艺的工艺控制。
自动水滴角测量仪特点：
-全自动水滴角接触角映射
-自动样品定位的电动晶片台x/phi
-电动自动加药给液装置
-自动液滴放置
-软件控制全自动测量
-视频图像中测量结果形成文档
水滴角测量仪满足超净间使用要求,步进电机驱动x/phi位移台,实现晶片上的任何点都可以快速移动,几秒钟完成自动测量,打印出测量结果。
水滴角测量仪测试液滴由自动给液装置。水滴的图像立即显示为PC屏幕上的高质量实时视频图片。测量由一次按键启动。软件确定接触角度并立即用图形表示，如同用数字数据表示一样包括在内。每秒仅1秒的快速测量时间删除排除错误。SURFTENS HL自动担保zui高再现性和测量精度结合易于操作。
