水滴角测试仪是为晶圆亲水性测试设计的光学
水滴接触角测定仪,晶圆润湿行为(比如HMDS涂层)是半导体工艺标准流程步骤,采用水滴角测试仪测量晶圆亲水性和表面自由能是有效而工艺控制程序,为此,需要一种易于使用的水滴角接触角测量仪器。
水滴角测试仪特点
‐固定的高质量测量物镜
‐USB 2.0数码相机,1.3百万像素;
-光学器件和摄像头都集成在封闭式外壳,防止失调;
-均匀、明亮的LED照明,亮度可调;
-手动测量台,直径200mm,聚四氟乙烯涂层:
‐手动在x和phi方向定位
‐可以用真空镊子放置晶片
-晶圆台行程:100mm,
-工作台旋转:360°(工作台上的每个点
专业的测量软件
关于软件接触角和自由表面(如果需要)可以测量固体的能量。舒适的文档功能在质量保证和研究。
可以实现对通过液滴形状的不同拟合方法得到的无柄液滴的接触角。落差是通过图像处理方法自动检测。在对比严重的情况下软件为跌落检测提供了额外的选项,用于计算
多达5种测量液体的测量接触角获得固体的表面能。