台式溅射镀膜仪又叫喷金仪,Sputter Coater,能够均匀地涂覆非导电或导电不良导电试样上的金(Au),银(Ag),钯(Pa)和铂(Pt)薄膜等贵金属,是进口溅射镀膜仪品牌中溅射镀膜仪价格适中的喷金仪。
台式溅射镀膜仪良hao设计使用户能够轻松地装载和卸载样品并快速*换目标。
台式溅射镀膜仪和喷金仪特征
贵金属涂层,如金(Au),银(Ag)等
触摸屏和彩色显示屏
能够绘制溅射参数图
包括用于图形,数据提取和软件*新的USB端口
厚度监测系统,用于测量涂层过程中的厚度
两级,直驱170 L / m,旋片泵
150 mm外径x 150 mm Pyrex气缸室
0-100 mA开关电源
极限真空:小于30毫托
气体:氩气 - 99.999%(调节至2-5psig);推荐但不需要
手动或自动定时和厚度溅射
控制溅射速度,达到*精细的晶粒结构
高精度石英晶体厚度监视器
在溅射过程中保护样品免受加热
关闭时系统自动通风。氮气排放气(可选)
独立于压力自动控制溅射功率
自动控制阴极的温度,以保护磁体的使用寿命
使用全自动触摸屏控制快速输入数据
精密计量阀为了控制真空压力
绘制压力,厚度和电流曲线
将曲线和溅射过程数据通过USB端口传输到PC
ISO 9001:2008,CE认证
台式溅射镀膜仪和喷金仪技术规格
热电偶规 | 0.001-1mbar |
磁控溅射阴极 | 2英寸 |
微控制器 | 用于自动编程过程 |
触摸屏监视器7“ | 编程,处理,参数说明 |
真空室 | 派雷克斯室7英寸 |
目标 | 0.15毫米金 |
水晶厚度计头 | 石英晶体保持性 |
薄膜厚度监视器 | 程序能力和1nm进动 |
样品架 | SEM样品架标准(电动) |
旋转叶片泵 | 14m3 /小时。 2级油封 |
快门 | 电子快门 |
计量阀 | 细针阀 |
自动排气阀 | 1/4“电动 |
主体 | 金属立方体300x500x500 mm |
外形尺寸 | 450mm H×500mm宽×370mm D |
装运重量 | 18千克(不含真空泵)34千克泵 |
直流电源 | 0-100 mA |
功率 |
220V-50Hz-6A |