显微激光测振仪是采用迈克尔逊干涉仪技术的
微纳激光测振仪和
微量激光测振仪,单点测量分辨率高达亚pm,成像模式分辨率高达0.1
nm,扫描分辨率高达1nm,还能给出1Hz至2.5MHz的FFT频谱和2.5MHz以下的
弯曲振动模态bending modes。
显微激光测振仪全面满足日益苛刻的研发和品质控制需要和对MEMS微机电系统的需求,通过在样品上用迈克尔逊干涉仪的聚焦激光束进行光栅扫描来实现，对微量振动进行百万像素微观结构振动成像,测量显微图像中每个像素的振动。
显微激光测振仪配有压电式样品振动器和数字锁定放大器,用于测量振动的振幅和相位，从中可以重建2.5MHz以下的
弯曲模态bending modes。
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显微激光测振仪特色：
所用迈克尔逊干涉仪激光束同时用于记录样品的共焦反射图像,该图像本质上与振动测量一致。因此，不需要额外的显微镜成像系统。
即使控制器和兼容UHV的扫描仪结构非常紧凑,也可提供20毫米尺寸的扫描能力。
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显微激光测振仪系统组件
：
包含干涉仪、函数发生器和锁定放大器（33 cm x 28 cm x 7.5 cm）
运动控制器：执行XYZ定位器的闭环操作，并包含用于振动台（33 cm x 28 cm x 7.5 cm）的功率放大器。
XYZ扫描仪（10 cm x 5.5 cm x 7.5 cm），用于光栅扫描样品上的聚焦激光头。
花岗岩板（20 cm x 15 cm x 4 cm），带直径2.5 cm的柱，用于安装扫描仪
带支架的振动台
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显微激光测振仪规格参数
工作原理：迈克尔逊干涉仪，单模光纤耦合
测量激光：1550nmDFB激光二极管，稳定（NIST可追踪），功率输出<1 mW（激光等级1）
激光光斑直径：7µm（焦点处）
分辨率：单点测量为亚pm，成像模式为0.1nm。
成像模式：振幅和相位图像可以使用所含软件进行分析或导出。
单点模式：1Hz至2.5MHz的FFT频谱，zui大250万点
数字锁定放大器
频率范围：500 Hz-2.5 MHz
参考信号：可通过标准振动台和输出信号驱动定制执行器。
时间常数：可从1微秒调节到0.5毫秒
动态存储：>100分贝
光学显微镜：
工作原理：共焦激光扫描干涉仪测量激光
焦距调整：手动或自动，带闭环压电驱动
横向分辨率：5µm
zui小像素尺寸：1µm
zui大图像尺寸：20 x 20 mm
zui大像素数：1000 x 1000
扫描系统：
工作原理：三轴线性压电驱动，闭环
分辨率：1nm
重复精度：30nm
zui大行程：20 mm（其他根据要求定制）
尺寸
控制器：每个33.0 x 27.0 x 7.0 cm（W x L x H）2个
扫描仪安装：花岗岩石材15.0 x 20.0 x 4.0 cm（W x L x H），不锈钢柱2.5 x 15.0 cm（ L x H）
扫描台：5.5 x 11.0 x 7.5厘米（W x L x H）
振动台：不锈钢8.0 x 1.5 cm（ L x H）
