| 适合晶圆尺寸 | 76, 100, 150, 200mm |
|---|---|
| 供电要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold separately |
| 吞吐量 | 60个晶圆盒/小时 |
| 重量 | 约20kg |
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