批量晶圆ID读取器WMS读取waferLot晶圆组的waferID码。可以读取所有25个晶片或单个晶片以进行晶片跟踪。
该waferlot批量晶圆ID读取器配备晶片凹口/平面对准器、晶片存在/不存在传感器、两个线性轴和晶片读卡器。数据可以通过GEM接口或通过ASCII文件发送到主机。
根据要求,批量晶圆ID读取器WMS还能够读取晶片的正面和背面。
批量晶圆ID读取器可用于100、125、150和200mm晶片。
批量晶圆ID读取器规格参数
周期时间:对齐、扫描和读取25个晶片<80秒
紧凑设计,占地面积580 x 380mm
完全SECS/GEM合规
Windows操作系统
触摸屏PC
静电安全
可以读取晶片背面ID
RFID磁带识别请求
根据要求提供其他接口