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自动晶圆分选机_晶圆分拣机WS300实现单晶片传送_晶片转移-辅光仪器
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自动晶圆分选机

自动晶圆分选机是300mm晶圆分拣机,可独立自动地实现单晶片传送和晶片转移,带有映射末端执行器。
型号:
FPHSQ-WS300
品牌:
进口
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@f-lab.cn 服务热线  021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询,辅光仪器-规模型进口精密科学仪器供应商欢迎您!

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自动晶圆分选机是300mm晶圆分拣机,可独立自动地实现单晶片传送和晶片转移,带有映射末端执行器。
自动晶圆分选机可分拣转移300mm尺寸晶圆,减少手动晶片处理造成的晶片破损和划伤问题。该晶圆分拣机与所有半兼容FOUP、FOSB和金属盒兼容。在取出或装入晶片之前,将晶片从晶圆框架盒插槽中轻轻提起。这减少了与晶圆盒的接触,zui大限度地减少了颗粒生成和晶片边缘碎屑。专为ISO 5级(FS209E 10级)设计。
自动晶圆分选机特点
触摸屏控制
处理能力每小时350片
带peek垫和缓冲器的重力端部执行器。
晶片映射检查晶片存在、交叉槽、双堆叠
将晶片组合成一个盒*多种配方模式
抗静电结构
自动晶圆分选机规格参数
适合晶圆尺寸 300mm 
供电要求 120VAC/ 10 Amps
吞吐量 350片晶圆/小时
重量 约为175kg 

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