晶圆设备|进口匀胶机_晶圆键合机_晶圆转移机

多功能烤胶机 FPSPS-Hotplate-200
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多功能烤胶机采用高精度台式电热板技术用于软烘烤和硬烘烤工艺以及光刻胶、环氧树脂或任何其他需要精确温度控制的工作的固化。
离子体灰化蚀刻系统 FPESI-E3611
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等离子体灰化蚀刻系统e3600采用zuixin的光刻胶去除技术,为去除晶圆光刻胶提供高效方案。可以在不改变硬件的情况下同时处理不同尺寸的晶圆。凭借紧凑的模块化设计，它可以以较低的拥有成本提供高吞吐量。
晶圆灰化系统 FPESI-E3511
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晶圆灰化系统是为晶圆ashing设计的晶圆灰化机,wafer ashing,广泛用于本体抗蚀剂,LDI后抗蚀剂,聚合物去除。
光刻胶显影机 FPULT-PRD405
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光刻胶显影机PRD405/408/409是自动批量显影和冲洗晶片和光掩模上正性光刻胶工作站。光刻胶显影机利用一个处理槽进行显影和冲洗，以快速有效地处理晶片。快速填充和排空显影剂水和直接注入水可精确控制循环时间。显影剂被连续过滤并自动补充，温度被精确保持，以实现可靠和可重复的过程。
晶圆去胶剥离机 FPULT-RSS
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晶圆去胶剥离机RSSx124,126,128,133系列是ULTRA光刻胶清洗机器,适合晶片、光掩模和基板清洗去胶剥离工艺需求。晶圆去胶剥离机RSSx 124、126、128或133专门配置用于晶片、光掩模和基板的基于负和正光致抗蚀剂的工艺。
晶圆蚀刻清洗机 FPULT-CES124
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晶圆蚀刻清洗机CES是ULTRA晶圆蚀刻清洁系统,满足晶片、光掩模和基板蚀刻清洗特定工艺需求。
半自动晶圆键合机 FPSUS-SB6
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半自动晶圆键合机SB6/8e采用SUSS MicroTec晶圆键合工艺,处理键合200mm以下各种形状和类型的衬底和晶圆。适合键合类型包括临时晶圆键合,胶黏键合,阳极键合,共晶键合,热键合,玻璃浆料键合等。应用领域包括MEMS、LED 中的封装及结构塑造、xianjin封装、2.5D和3D集成。
涂胶显影机 FPSUS-LABSPIN
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涂胶显影机是手动型匀胶显影机,适合6''和8''的实验室涂胶和显影应用。涂胶显影机适合不同类型的光刻化学试剂，通过xianjin的腔体设计，提供均匀、精确和重复性高的涂胶结果。
晶圆显影清洗机 FPSUS-SD12
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晶圆显影清洗机SD12具有晶圆显影机和晶圆清洗机的双重功能，该晶圆显影清洗机可满足12英寸（300mm）圆片、9英寸×9英寸（230毫米×230毫米）方形基片和掩模的工艺需求，包括NMP剥离、显影（包括丙酮及其它溶液）、光刻胶去除和和清洗等应用环境。该晶圆显影清洗机也可以处理易碎的基片（例如磷化铟和砷化镓），并拥有极高的良率。
涂胶显影机 FPSUS-RCD8
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涂胶显影机是集成了手动旋涂机和晶圆显影机功能的设备,能够实现各种衬底材料和形状的光刻胶涂覆和显影,可以处理粘滞度小于1cps到55000cps的光刻胶,适合于日常研发和小规模生产。
进口spin coater FPLAU-H6-23
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这款进口spin coater是高精度匀胶仪,匀胶台,甩胶仪,涂胶仪,旋涂仪,结构紧凑,具有xianjin的功能,可安装到手套箱中使用。适合150mm晶圆和5英寸×5英寸（127mm×127mm）基板使用，zui大转速为12000RPM（基于100mm硅片）.
手动SMIF吊舱开启器 FPHSQ-SMIFMAN8
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手动SMIF吊舱开启器是桌面型手动SMIF pod开启器。一个简单的臂机构解锁RSP150吊舱机构，从而轻松释放SMIF晶圆吊舱盖。
自动SMIF盒开盒器 FPHSQ-SMIFPO8
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自动SMIF盒开盒器M200型是SMIF盒吊舱开启器,可自动解锁中央SMIF盒机构，并提起和存放盒盖，从而轻松接近内部晶片盒。
自动FOUP开盒机 FPHSQ-AFO
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自动FOUP开盒机可对300毫米FOUP盒自动开门器解锁、移除并存储FOUP门。FOUP下方的旋转基座机构允许360°旋转，以将打开的FOUP盒定位在操作员的zui佳人体工程学进入位置。
自动晶圆分选机 FPHSQ-WS300
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自动晶圆分选机是300mm晶圆分拣机,可独立自动地实现单晶片传送和晶片转移,带有映射末端执行器。
晶片分选机/晶片移动器 FPHSQ-AWM2
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晶片分选机/晶片移动器即可以分拣晶圆,也可以移动晶圆,这种独立的桌面自动分拣机采用双盒配置。与行业标准的运输、加工和金属晶圆盒兼容。适合晶圆尺寸76, 100, 150, 200mm 。
自动晶圆传送机 FPHSQ-LCT1AS12
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自动晶圆传送机是自动把FOUP盒晶圆传送给FOSB盒的设备。mapped晶片在晶圆盒中缓慢地整体提升；zui大限度地减少与晶圆框架盒的接触，消除颗粒、磨损或晶片边缘剥落的风险。
自动批量垂直晶片转移机 FPHSQ-AVT
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自动批量垂直晶片转移机AVT是自动双盒垂直散装晶圆转移机,可在塑料、金属和石英Cassettes晶圆盒的各种组合之间传送转移晶片。
桌面型自动批量晶片转移器 FPHSQ-AHWT
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桌面型自动批量晶片转移器是为批量晶圆转移设计的自动晶圆转移设备,实现批量晶片在两个晶片盒之间水平“滑动传送”。
大量晶圆传送系统 FPBUE-SWTM
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大量晶圆传送系统SWTM是批量晶片转移设备,能够将一个晶圆盒中的所有晶片转移到另一个盒中。该系统配备一个晶圆盒站、机械晶片凹口/平面对准器和夹持器机械装置。