进口高纯度衬底晶圆是美国进口晶圆衬底片,可提供各种标准尺寸或定制规格,具有精确晶圆表面和精确定向,可提供进口晶圆衬底有：Al
2O
3，BaF
2，BaTiO
3，CaF
2，CdS，CdSe,CdTe, DyScO3, GaN, GdScO3, Ge, Gd
3Ga
5O
12, KBr,KTaO
3,LaAlO
3,LiF,LiNbO
3,LiAlO
2,(La,Sr)
MgAl
2O
4,MgF
2,MgO,NdGaO
3,(1-x)Pb(Mg
1/3Nb
2/3) - xPbTiO
3, Si, (Al,Ta)O
3, LiTaO
3,SiC,
SiO
2,α-SiO
2, SrLaAlO
4, SrTiO
3,SrTiO
3:Nb, TbScO3, TiO2,Y
3Al
5O
12,Y3Fe5O12, YAlO
3:Ce,ZnO, ZnS, ZnSe, ZnTe, ZrO
2:Y, YVO
4,YAlO
3等。
进口高纯度衬底晶圆属性
方向：
立方和四方晶体的（100）、（001）、（111）、（110）
六方晶体的（0001），（1102），（1120），（1010）
米勒指数较高或相邻基质的其他方向
定位精度：±0.5°，典型<0.3°，或根据要求*hao
典型尺寸：
5毫米x 5毫米，10毫米x 10毫米，10毫米x 5毫米，15毫米x 15毫米，12.7毫米x12.7毫米，20毫米x20毫米，25毫米x25毫米，ø1“，ø2”
横向公差：+0/-0.05 mm
典型厚度：
0.5毫米、1.0毫米，其他厚度可根据要求降至0.1毫米
垂直公差：+/-0.05 mm，或根据要求*hao
抛光：单面或双面epi抛光
表面质量：放大50倍无划痕
微粗糙度（用干涉仪显微镜测量,横向分辨率：0.64µm，垂直分辨率：理论0.01 nm）
粗糙度：（λ截止值=0.08 mm）
Ra:<0.5纳米
Rq:<1.0纳米
室温：<2.0纳米
每批中包含的粗糙度证书
根据要求对侧面（圆柱体）进行光学抛光。
进口高纯度衬底晶圆可提供种类
| 晶圆材料 |
化学名称 |
非科学-/矿物名称 |
| Al2O3 |
Aluminium oxide |
Sapphire |
| BaF2 |
Barium fluoride |
Frankdicksonite |
| BaTiO3 |
Barium titanate |
BTO |
| CaF2 |
Calcium fluoride |
Fluorspar |
| CdS |
Cadmium sulfide |
Greenockite |
| CdSe |
Cadmium selenide |
Cadmoselite |
| CdTe |
Cadmium telluride |
- |
| DyScO3 |
|
|
| GaN |
Gallium Nitride |
|
| GdScO3 |
|
|
| Ge |
Germanium |
- |
| Gd3Ga5O12 |
Gadolinium Gallium Garnet |
GGG |
| KBr |
Potassium bromide |
- |
| KTaO3 |
Potassium tantalate |
- |
| LaAlO3 |
Lanthanum aluminate |
LAL |
| LiAlO2 |
Lithium aluminate |
- |
| LiF |
Lithium fluoride |
- |
| LiNbO3 |
Lithium niobate |
LN |
| (La,Sr)(Al,Ta)O3 |
Lanthanum strontium aluminium tantalate |
LSAT |
| LiTaO3 |
Lithium tantalate |
LT |
| MgAl2O4 |
Magnesium aluminate |
Spinel |
| MgF2 |
Magnesium fluoride |
Sellaite |
| MgO |
Magnesium oxide |
Periclase |
| NdGaO3 |
Neodymium gallate |
- |
| (1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3) - xPbTiO3 |
Lead magnesium niobate – lead titanate |
PMN-PT |
| Si |
Silicon |
- |
| SiC |
Silicon carbide |
- |
| SiO2 |
Silicon dioxide |
Amorphous Quartz glass |
| α-SiO2 |
Silicon dioxide, single crystalline |
Alpha-quartz |
| SrLaAlO4 |
Strontium lanthanum aluminate |
SLA |
| SrLaGaO4 |
Strontium lanthanum gallate |
SLG |
| SrTiO3 |
Strontium titanate |
Fabulite, Tausonite |
| SrTiO3:Nb |
Niob doped Strontium titanate |
- |
| TbScO3 |
|
|
| TiO2 |
Titanium dioxide |
Rutile |
| Y3Al5O12 |
Yttrium Aluminium Garnet |
YAG |
| Y3Fe5O12 |
Yttrium Iron Garnet |
YIT |
| YVO4 |
Yttrium Orthovanadate |
YVO |
| YAlO3 |
Yttrium Aluminium Perowskite |
YAP |
| YAlO3:Ce |
Cerium doped Yttrium Aluminium Perowskite |
YAP:Ce |
| ZnO |
Zinc oxide |
Zincite |
| ZnS |
Zinc sulfide |
- |
| ZnSe |
Zinc selenide |
- |
| ZnTe |
Zinc telluride |
- |
| ZrO2:Y |
Yttrium stabilised Zirkonium dioxide |
YSZ |
