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大型旋涂仪_高精度旋涂仪器POLOS450为光刻胶匀胶甩胶设计-辅光仪器
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大型旋涂仪-450mm

大型旋涂仪POLOS450是为光刻胶匀胶甩胶应用设计的高精度旋涂仪器,适用于直径450mm以下的基片使用。
型号：
FPSPS-POLOS450
品牌：
进口
价格：
￥0.00
类别：
在线垂询
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大型旋涂仪POLOS450是为光刻胶匀胶甩胶应用设计的高精度旋涂仪器,适用于直径450mm以下的基片使用。手动化学分配,2条自动静态分配线,气动盖打开和关闭，卡盘适配器和一个真空卡盘，zui多可用于3个晶片，速度zui大1500rpm，腔室zui大直径约450mm
大型旋涂仪POLOS450规格参数
桌面型号，独立版本
适合直径不超过450mm的衬底
手动化学品分配，2条自动静态分配线
气动盖打开和关闭
卡盘适配器和一个真空卡盘，zui多可用于3种晶片尺寸
zui高转速1500rpm
腔室zui大直径约450mm

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