全自动匀胶机-300mm

这款全自动匀胶机是进口自动匀胶仪器,采用功能强大的旋涂机系统专为所有应用的研究和可变工艺而设计。其特点是能够全自动旋涂操作。
全自动匀胶机POLOS SPIN4000A是一款独立的全自动旋涂机系统。钢制外壳保证了无污染的工作区，其高端组件确保了300x300mm基板的可重复、可编程旋转过程。
全自动匀胶机特征
自动光刻胶分配，zui多3个喷嘴（可选）
8.5英寸触摸屏
真空泵
上盖（可选）
全自动匀胶机规格参数
旋涂转速：6000rpm 
转速精度：0.1%
旋涂旋转方向：顺时针，逆时针
zui大加速度：<=3000rpm/s
zui大衬底直径：300mm(圆形）或8'' x 8''(方形）
尺寸：650 (w) x 1200 (h) x 945 (d) mm
重量:350kg 
功耗：1KW
真空：-600 mm Hg