高精度匀胶机-300mm

高精度匀胶机Polos300 是300mm单片匀胶机SPIN COATER,专为MEMS、半导体、光伏、微流体等领域的研发和小批量生产而设计，适用于所有典型的旋涂工艺：清洁、冲洗/干燥、涂层、显影和蚀刻。
高精度匀胶机采用全塑料无缝构建，外壳采用天然聚丙烯（NPP）或可选PTFE，适用于处理5mm到小于等于300mm的晶圆衬底或8''x 8”的方形基板。
高精度匀胶机特点
•自动化学品分配：
•通过多达6个喷嘴分配液体
•每个都可编程，用于顺序或并行分配
•透明/透明圆顶ECTFE盖，带中央集成N2喷淋清洗
•天然聚丙烯（NPP）无缝全塑料外壳
•高耐化学性PTFE（TFM）无缝全塑料外壳
•台式旋涂机型号：尺寸：43cm（宽）x 65cm（深）x 31cm（高）
•基板晶片尺寸：碎片和基板zui大360mm或8“x8”
•重型伺服控制电机：
•确保可重复的转速
•转速可调，1至10000 rpm
•顺时针和逆时针旋转
•用于显影的puddle功能
•通过带手套的手指友hao型全尺寸键盘和LED背光显示屏，轻松逐步编程
•可编程数字过程控制器：
•存储多个程序，每个程序包含99步配方，用于：
•速度1-10.000rpm、时间、加速度
•真空开/关
•继电器打开/关闭
•多用户访问级别
•2个可编程开/关开关输出eg.用于分配开/关、氮气开/关等。
•排水连接
•符合CE标准
高精度匀胶机规格参数
程序数：无限制
程序的步进数：无限制
旋涂速度：1-12000rpm (+/-1rpm步）
旋涂速度精度：± 0.1 rpm
旋涂旋转方向：顺时针，逆时针，puddle浸置式
zui大加速度：30000rpm/s 
旋涂时间：无限制
外壳材质：NPP或PTFE
旋涂室材质：NPP或PTFE
外部链接：1个USB接口连接控制器
zui大衬底直径：360mm圆形或8''x8''方形
zui大旋涂室直径：402mm 
430 (w) x 310 (h) x 650 (d) mm
重量：32kg 
供电要求：200-240VAC
zui大功耗：1800W
真空：- 80 kPa (-24 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD Ø8mm