进口小型旋涂机-150mm

进口小型旋涂机SPIN150i是150mm单片旋涂机,专为MEMS、半导体、光伏、微流体等领域的研发和小批量生产而设计，适用于所有典型的旋涂工艺：清洁、冲洗/干燥、涂层、显影和蚀刻。
进口小型旋涂机SPIN150i适用于处理小至5mm、高达150Ø（或6”）或4“x 4”基板的晶圆。可拆卸触摸面板。配方的无限程序存储，每个步骤都有多个（CW & CCW rotation用于浸置式显影旋涂应用的顺时针和逆时针旋转）。
进口小型旋涂机特点
工艺种类齐全，包括旋涂和浸置式显影
结构紧凑，方便实验室防置
大屏幕彩色触摸屏
专为各种光刻化学光刻胶设计
进口小型旋涂机SPIN150i规格参数
程序数：无限制
程序的步进数：无限制
旋涂速度：1-12000rpm (+/-1rpm步）
旋涂速度精度：± 0.1 rpm
旋涂旋转方向：顺时针，逆时针，puddle浸置式
zui大加速度：30000rpm/s 
旋涂时间：无限制
外壳材质：NPP
旋涂室材质：NPP
外部链接：1个USB接口连接控制器
zui大衬底直径：160mm 或4''x4'’方形
zui大旋涂室直径：202mm 
尺寸:274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm
重量：14kg 
供电要求：200-240VAC
zui大功耗：500W
真空：- 65 kPa (-19 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD Ø8mm